greenspecbusiness
검사 자동화
High Speed Laser Autofocus System
LAF1-GS
LAF1-GS는 고속으로 초점(focal point)의위치를 추적하는 장치 입니다.비젼 산업계에서 사용되고 있는 무한 광학계 현미경(Infinity Corrected Optical Microscope)에 동축(Through The Lens) 형태로 삽입하여 사용할 수 있어,현미경과 자동 초점 장치의 View point가 일치 합니다.
Laser를 현미경을 통하여 시료에 투사하여반사되어 돌아오는 빛의 위치를 CMOS 센서로 입력 받아초점의 위치를 실시간으로 계산합니다.
CMOS 센서는 자동초점 장치 Head 내부에 Pre-processor와같이 장착 되어 있으며, 일반 카메라와 같이 Aerial Image와Binning image를 사용할 수 있어, 다양한 방식으로 초점을찾을 수 있으며 또한 고속모드로도 사용이 가능합니다.

- Features
-
ㆍIt is working on almost types of surfaces
-Reflective and diffusing
-Low reflectivity surfaces
-Transparent and opaque
-Plain, patterned and textured
- ㆍIt is working on almost types of surfaces
- ㆍAvailable with objective lens from 5X to 100X
- ㆍProgrammable parameter for different working conditions
- ㆍHigh Resolution CMOS sensor inside
- Laser Repair
- ㆍFlat Panel Display
- ㆍPatterned Wafer Inspection
- ㆍWafer Processing
- ㆍPhoto-Mask Inspection and Repair
- ㆍLaser Micro-Machining

- Controller [LAFC1-GS-C]
-
ㆍSampling frequency :
- Max. 1[KHz] (250Hz Normally)
- ㆍCommunication to User PC:
- Giga Ethernet
- ㆍDSP : 2 Cores, 1[GHz]
- ㆍDIO : input x 8CH, output x8CH
- Head [LAF1-GS-H]
- ㆍLaser Diodes : l = 680[nm](Default)
- ㆍCMOS sensor
- Software
- ㆍUser Interface
- ㆍAPI

ㆍLAF1-GS는 controller와 Optical Head로 구성 되어 있습니다.
ㆍ현미경과 조명계는 사용자의 것을 그대로 사용할 수 있습니다.
ㆍStep motor와 Power Driver는 제공되지 않습니다.

• Specification
Microscope Lens | VIS | VIS | VIS | NIR | NIR |
---|---|---|---|---|---|
Magnification | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X |
Focus Resolution [㎛] ′ | <50 | <10 | <2 | <1.5 | <0.4 |
Focus Ranfe[㎛] | ±2000 | ±1000 | ±300 | ±300 | ±100 |